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EXIEDIANZINENGPUYI(Auger Electron Spectrometer, AES)WEIWEIDIANZIYECHANGJIANDEBIAOMIANFENXIJISHUZHIYI,NAMITANZHENEXIESAOMIAO TIGONGGAOXINGNENGDEEXIE(AES)PINPUFENXI、EXIECHENGXIANGHEJIANSHESHENDUFENXIDEFUHE。EXIENAMITANZHENTIGONGLESHIYONGHECHENGSHUDEJISHU,YIMANZUNAMICHIDUSUOXUYAODEGUANGFANSHIYANYUYANFADEYONGTU。YINGYONGCAILIAOBAOKUO:NAMICAILIAO,CUIHUAJI,JINSHUHEDIANZISHEBEI。